污染与环保的抉择，工厂废气是怎么达标排放的？酸碱废气处理

半导体制造中产生的酸碱废气分别收集和处理，但处理设备和处理原理基本相同。半导体厂大多采用大型洗涤*废气处理系统处理含有酸性/碱性物质的废气 。由于半导体制造工作区远离*废气处理系统，部分酸性/碱性 废气输送到*废气处理系统前，经常因气体特性导致管道结晶或粉尘堆积，导致管道堵塞，甚至爆炸，危及现场工作人员的工作安全 。因此，在工作区域应配置适合工艺气体特性的当地废气处理设备（local scrubber）现场处理后，排放*处理系统，一些特殊废气，包括剧毒、自燃、易爆等，需要通过吸附或氧化/燃烧（如干洗涤塔等设备）PECVD尾气)现场处理，然后排入*废气处理系统。

*废气处理系统的核心设备是一种洗涤塔。其主要功能是控制洗涤塔中循环水的pH值、电导率等参数，使废气在洗涤塔中与水充分接触，吸收酸性或碱性物质。

填料床安装在洗涤塔内，以增加废气与水的接触面积 ，延长接触时间。填料床下面是循环池，液体通过循环泵不断循环。还有加药泵，pH计用于控制pH值 ；排水补水控制采用液位计和电导度计；监控系统的运行情况采用压差开关和压力传感器。酸性排气洗涤塔循环水的调节pH值发现，淋浴塔内的物理吸收是不稳定和可逆的，吸收水中的酸，在淋浴过程中容易再次附 。

填料

当 pH低于 7.6时 ，即使循环水的电导率低于 5 mS／cm，当系统处理效率仍不超过60%时pH当值高于8时，系统处理效率通常高于90%； pH当值达到10时，系统处理效率甚至超过99%。因此控制pH尽管酸性排气洗涤塔，pH处理效率越高越好 ，但在实际操作中pH过高会增加运行成本，产生结晶等问题，危及生产安全pH值通常控制在pH8～pH10。同样，对于碱性排气洗涤塔，pH值通常控制在pH3～pH6。

影响系统处理效率的另一个主要因素是循环水量。洗涤塔连续运行一段时间 (一般为 即使提高了6个月)，处理效率也开始下降pH该值也收效甚微，因为洗涤塔循环水中的盐容易在喷嘴处形成晶体，造成堵塞，降低循环水量，水不足使废气与水不能完全接触，从而影响系统的处理效率。因此，在运行过程中，应严格控制洗涤塔循环水的电导率 20mS/cm 下面，减少盐堵塞喷嘴，定期清洗喷嘴，维护循环水泵和淋浴塔，将循环水压力控制在1.5×10^5Pa以下是保证足够的循环水。

如图所示：

酸碱废气处理设备

酸碱废气处理工艺

酸碱洗涤塔一般由FRP由材料制成的专业洗涤系统对大多数雾、气、液酸碱具有耐腐蚀性。本设备的外部或内部不需要任何涂层保护。如果需要与业主的设备颜色进行整体匹配，可以进行外部涂层。

1、塔体

在正常运行条件下，洗涤塔本体不需要任何维护。如果洗涤塔长期使用过于干燥，很容易产生污垢、结晶盐积累或其他外部问题。这些囤积物通常可以用化学循环清洁剂去除。这样，囤积物可以在冲洗前溶解。但是，化学清洁剂在清洗前不会腐蚀塔壁。

清洗塔内外可用热水或普通洗涤剂清洗，也可用蒸汽清洗。清洗方法是将蒸汽充满洗涤塔内部，但蒸汽不得超过半小时。

2、喷洒系统

喷嘴每三个月至少检查一次。如果有堵塞，必须清理干净。

三、循环水系统

循环泵过滤器(通常是两个过滤网)每周至少清洗一次(或根据情况减少天数)，避免因杂质过滤不干净而堵塞喷嘴。

循环洗涤水每周至少更换一次，避免水中盐浓度过高影响处理效果，减少杂质堵塞滤网。

4、PH控制器校正

标准校正液每1-2周校正一次，pH值为7.00和4.00。

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